Cryopumps se tudi v današnjem življenju pogosto uporabljajo. Mnogi morda niso slišali za cryopumps. Kriopumpi so vrsta vakumske črpalke, ki uporablja nizkotemperaturni površinski kondenzacijni plin. Prednost je v tem, da je črpalna moč največja. Danes si poglejmo kriogene črpalke Kako deluje črpalka.
Delovno načelo cryopumpa je uporaba plina za fizično adsorbiranje na ultra nizki temperaturni površini za doseganje učinka izčrpanosti. To je učinkovita in hitra metoda za pridobitev čistega sesalca.
Cryopump lahko doseže izjemno visok sesalnik (10-11Pa), in ima prednosti hitre izpušne hitrosti, brez olja in neomejene smeri namestitve.
V prvi fazi hladne faze kriopumpa so nastavljeni ščitni pokrov in baffle, temperatura pa se vzdržuje pri 80K. Sekundarna stopnja hlajenja se je vzdrževati pri 15K, na nj pa so bili nastavljeni kriogeni pokrov in aktivirani ogljikov adsorbent.
Vodna hlapa se strdi na ščitu 80K in 80K baffle; dušik, kisik in argon so strjeni na kriogenem pokrovu 15K; vodik, helij in neon adsorbirano na adsorbent znotraj kriogenega pokrova 15K. Cryopump lahko izčrpa vse pline, če pa je količina adsorbnega plina prevelika, se bo zmanjšala izpušna hitrost. V tem primeru je treba ogreti cryopump, sprostiti adsorbirano plin in ga ponovno uporabiti.
Funkcije cryopump
Kriopump je vakumska črpalka, ki za kondenzacijo plina uporablja nizkotemperaturno površino, znano tudi kot kondenzata črpalka. Kriopump lahko pridobi čisti sesalnik z najvišjo stopnjo črpanja in najnižjim končnim tlakom, in se pogosto uporablja pri raziskavah in proizvodnji polprevodnikov in integriranih vezja, pa tudi raziskave molekularnih snopov, opreme za vakumsko premazovanje, instrumentov za analizo vakumske površine, ionske implantate in naprave za simulacijo vesolja itd.
Kriopump je vakumska črpalka, ki za odstranjevanje plina iz sistema uporablja kondenzacijski učinek zelo nizkotemperaturne hladilne površine (≤77K). Kriogensko črpanje se od 60. let vse bolj uporablja pri pridobivanju in uporabi sesanja.
Kriopump je čista vakumska črpalka. Ker je kriogeni medij le hladilno sredstvo, ki hladi sesajočo površino črpalke in je shranjeno ali kroži v zaprti posodi, nima stika z vakumnim prostorom. Ta funkcija je kritična za določene vakumske sisteme, ki zahtevajo čiste, brez olja vakumske sisteme.
Kriopumpi lahko dosežejo zelo nizke delne pritiske in zelo visoke hitrosti črpanja za večino plinov. Ko kriopump deluje v tekočem helijevem mediju, ima tudi prednosti velike dejanske črpalne zmogljivosti in neselektivnega črpanja (razen helija).
Cryopumps igra ključno vlogo pri raziskovanju in proizvodnji polprevodnika in integriranih tokokrog, raziskav molekularnega žarka in drugih področij. To je čista vakumska črpalka. Zgoraj je vse o delovnem principu cryopumps.